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填空題

結(jié)晶形鍺硅合金的制備方法有（）、水平法、熱分解法和（）。

答案：直拉法；熱壓法

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鍺硅合金有（）、（）和超晶格三種。

答案：無定形；結(jié)晶形

砷化鎵膜材料主要通過外延技術(shù)制備。主要外延方法有（）外延、液相外延和（）外延

答案：氣相；氣束

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