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問答題
【簡(jiǎn)答題】定義刻蝕選擇比。干法刻蝕的選擇比是高還是低？高選擇比意味著什么？
答案：
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問答題
【簡(jiǎn)答題】刻蝕工藝有哪兩種類型？簡(jiǎn)單描述各類刻蝕工藝。
答案：
刻蝕工藝：干法刻蝕和濕法刻蝕。
干法刻蝕是把硅片表面曝露于氣態(tài)中產(chǎn)生的等離子體，等離子體通過光刻膠中開出的窗口...
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