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問答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述硅氣相外延的過程？
答案：
在氣相外延生長(zhǎng)過程中，有兩步：
質(zhì)量輸運(yùn)過程－－反應(yīng)劑輸運(yùn)到襯底表面
表面反應(yīng)過程－－在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)釋放出硅原子
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問答題
【簡(jiǎn)答題】什么叫做外延？外延有哪些特點(diǎn)？
答案：
①定義：在單晶襯底上新生一層單晶膜的技術(shù)。
以氣相外延為例，則是含外延層材料的物質(zhì)以氣相形式流向襯底，在高溫下...
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