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問答題
【簡答題】列舉兩種集成電路制造中的器件隔離結構,并比較其優(yōu)缺點。
答案:
兩種最常用的隔離結構:局部氧化隔離法隔離(LOCOS)和淺溝槽隔離(STI)。
局部氧化隔離法會產(chǎn)生&ldqu...
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【簡答題】IC制造中常采用什么方法形成金屬層?它的作用是什么?
答案:
金屬層的形成主要采用物理汽相沉積(Pysical Vapor Deposition,簡稱PVD)技術...
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【簡答題】摻雜的目的是什么?舉出兩種摻雜方法并比較其優(yōu)缺點。
答案:
摻雜的目的是形成特定導電能力的材料區(qū)域,包括N型或P型半導體區(qū)域和絕緣層,以構成各種器件結構。
摻雜的方法有:...
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