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單項選擇題

化學氣相沉積法對原料、產(chǎn)物、反應類型的要求中,錯誤的是()。

A.反應劑在室溫或不太高的溫度下最好是氣態(tài)或有較高的蒸氣壓而易于揮發(fā)成蒸汽的液態(tài)或固態(tài)物質(zhì),但不需要有很高的純度
B.通過沉積反應易于生成所需要的材料沉積物,而其他副產(chǎn)物均易揮發(fā)而留在氣相排出或易于分離
C.反應易于控制

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