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填空題

超精密加工中穩(wěn)定的加工環(huán)境條件主要指（）、（）、（）和（）四個方面的條件。

答案：恒溫；恒壓；防振；超凈

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超精密機床主軸的驅(qū)動方式主要有電動機通過帶傳動驅(qū)動、（）和（）三種。

答案：電動機通過柔性聯(lián)軸器驅(qū)動；采用內(nèi)裝式同軸電動機驅(qū)動

電火花型腔加工的工藝方法有：（）、（）、（）、（）等。

答案：單電極加平動法；多電極更換法；分解電極法；簡單電極數(shù)控創(chuàng)成法