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填空題

真空蒸發(fā)的蒸發(fā)源有（）、（）、（）、（）等。

答案： 電阻加熱源；電子束加熱源；激光加熱源；高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)源
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填空題

離子注入系統(tǒng)結(jié)構(gòu)一般包括（）等部分。
答案： 離子源、磁分析器、加速管、聚焦和掃描系統(tǒng)、靶室
填空題

離子注入在襯底中產(chǎn)生的損傷主要有（）等三種。
答案： 點(diǎn)缺陷、非晶區(qū)、非晶層
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