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填空題

濺射鍍膜方法有（）、（）、（）、（）等。

答案：直流濺射；射頻濺射；偏壓濺射；磁控濺射（反應(yīng)濺射、離子束濺射）

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離子對物體表面轟擊時(shí)可能發(fā)生的物理過程有（）、（）、（）、（）。

答案：反射；產(chǎn)生二次電子；濺射；注入

自持放電的形式有（）、（）、（）、（）。

答案：輝光放電；弧光放電；電暈放電；火花放電