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判斷題

溫度對氧化速率常數(shù)A、B都有影響，壓強只影響氧化速率常數(shù)B。

答案：正確

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硅熱氧化形成SiO₂體積將增加約1倍。

答案：正確

SiO₂作為擴散掩蔽膜需要滿足一定的厚度要求。

答案：正確