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判斷題

離子注入工藝中被摻雜的材料稱為靶，靶材料可以是晶體，也可以是非晶體，非晶靶也稱為無定形靶。

答案：正確

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熱擴散摻雜的工藝可以一步實現(xiàn)。

答案：錯誤

替位式擴散就是替位雜質(zhì)和鄰近晶格位置上的原子互換。

答案：錯誤

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