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填空題

離子束加工裝置與電子束加工裝置類似，不同的是用（）取代了（）。

答案：離子源；電子槍

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電子束加工的裝置主要包括（）和（）、（）等。

答案：電子槍；真空系統(tǒng)；控制系統(tǒng)

激光加工的加工過程包括（）、（）和（）等3個階段。

答案：吸收；加熱；破壞

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