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問答題

【簡答題】電子束的加工設備組成是什么？

答案：電子槍（獲得電子束）、真空系統(tǒng)（避免與氣體分子之間的碰撞）、控制系統(tǒng)、電源（穩(wěn)定性要求高）

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【簡答題】電子束的工藝特點有哪些？

答案： 1）由于電子束能夠極其微細地聚焦，甚至能聚焦到0.1μm，所以加工面積很小，是一種精密微細的加工方法。
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【簡答題】電子束的基本原理是什么？

答案：電子束的加工是在真空調件下，利用聚焦后能量密度極高的電子束，以極高的速度（速度可達1.6*10⁵k...

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