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【簡答題】定向凝固技術的工藝參數有哪些?
答案:
(1)凝固過程中固液界面前沿液相中的溫度梯度GL;
(2)固液界面向前推進的速度R;
(3)GL/R...
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【簡答題】化學氣相沉積法的原理是什么?
答案:
是通過化學反應的方式,利用加熱等離子激勵火光輻射等各種能源,在反應器內使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學物質在氣相或氣固界面上經化學...
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問答題
【簡答題】為適應CVD技術的需要,選擇原料、產物及反應類型等通常需滿足什么要求?
答案:
(1)反應劑在室溫或不太高的溫度下最好是氣態(tài)或有較高的蒸汽壓而易于揮發(fā)成蒸汽的液態(tài)或活固態(tài)物質,且有很高的純度;
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