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【簡答題】薄膜的物理制備方法是什么?
答案:
主要以氣相沉積方法為主,物理氣相沉積PVD是指利用某種物理過程,如物質(zhì)的熱蒸發(fā)或者在受到粒子轟擊時物質(zhì)表面原子濺射等現(xiàn)象...
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