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填空題

HMDA裝置的真空泵是（）式和（）式。

答案：羅茨；活塞

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HMDA裝置的真空泵的位號是（）、（）、（）。

答案： K-A001、K-A002、K-A003

HMDA裝置的真空泵的正常啟動順序是（）。

答案： K-A003--K-A002--K-A001

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