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電子束可以通過(guò)磁透鏡聚焦,并靠偏轉(zhuǎn)線圈實(shí)現(xiàn)小角度的偏轉(zhuǎn),擴(kuò)大加工區(qū)域。
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電子束加工必須在真空條件下進(jìn)行。
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電子束加工去除材料是靠高速運(yùn)動(dòng)電子的動(dòng)能直接去除材料。
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