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問答題

【計算題】
有一臺變間隙非接觸式電容測微儀，其傳感器的極板半徑r=4mm，假設與被測工件的初始間隙δ₀=0.3mm，已知極板間介質為空氣，空氣介電常數(shù)ε₀=8.85*10^-12F/m，試問
（1）如果傳感器與工件的間隙變化量Δδ=+10μm，那么電容變化量為多少？
（2）如果測量電路的靈敏度K=100mV/pF，則在Δδ=+1μm時的輸出電壓為多少？

答案：

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【簡答題】簡述推導差動式電容傳感器的靈敏度，并與單極式電容傳感器相比較。

答案：以變極距式為例，在差動式平板電容器中，當動極板向上位移Δd時，電容器C₁的間隙d

【計算題】
有一平面直線位移差動傳感器，其測量電路采用變壓器交流電橋，如圖所示。電容傳感器起始時b₁=b₂=b=200mm，a₁=a₂=20mm，極距d=2mm，極間介質為空氣，測量電路u_i=3sinωtV，且u=u_i。試求當動極板上輸入一位移量Δx=5mm時，電橋輸出電壓u_o為多少？

答案：