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填空題

物理氣相沉積法是利用()將原料加熱,使之汽化或形成(),在基體上冷卻凝聚成各種形態(tài)的材料(如晶須、薄膜、晶粒等)的方法。其中以()、()較為常用。

答案: 高溫?zé)嵩?;等離子體;陰極濺射法;真空蒸鍍法
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