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【簡答題】簡述摻氯氧化工藝。
答案:
在氧化工藝中,通常在氧化系統(tǒng)中通入少量的HCl氣體(濃度在3%以下)以改善SiO
2
–S...
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2
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+
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+
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答案:
第一階段:反應(yīng)速度決定氧化速度,主要因?yàn)檠醴肿?、水分子充足,硅原子不足?br />第二階段:擴(kuò)散速度決定氧化速度,主要...
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