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名詞解釋

結(jié)深

答案：雜質(zhì)擴(kuò)散濃度分布曲線與襯底摻雜濃度曲線交點(diǎn)的位置稱(chēng)為結(jié)深。

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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】
說(shuō)明擴(kuò)散雜質(zhì)的高斯分布特點(diǎn)（有限源擴(kuò)散屬于此分布）

答案：

①在整個(gè)擴(kuò)散過(guò)程中，雜質(zhì)總量保持不變；
②擴(kuò)散時(shí)間越長(zhǎng)，擴(kuò)散溫度越高，則雜質(zhì)擴(kuò)散得越深，表面濃度越低；
③表面雜質(zhì)濃度可控。

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】
說(shuō)明擴(kuò)散雜質(zhì)的余誤差函數(shù)分布特點(diǎn)（恒定表面源擴(kuò)散屬于此分布）

答案： ①雜質(zhì)表面濃度由該種雜質(zhì)在擴(kuò)散溫度下的固溶度所決定。當(dāng)擴(kuò)散溫度不變時(shí)，表面雜質(zhì)濃度維持不變；
②擴(kuò)散時(shí)間越長(zhǎng)，...