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問答題

【簡答題】寫出數(shù)值孔徑（NA）公式。

答案：

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【簡答題】簡述正膠和負(fù)膠區(qū)別。

答案：

正膠：曝光的部分易溶解，占主導(dǎo)地位；
負(fù)膠：曝光的部分不易溶解。負(fù)膠的粘附性和抗刻蝕性能好，但分辨率低。

【簡答題】簡述什么是光刻膠、光刻膠的用途、光刻對光刻膠的要求。

答案：光刻膠是一種有機(jī)化合物，它受紫外線曝光后在顯影液中的溶解度發(fā)生顯著變化，而未曝光的部分在顯影液中幾乎不溶解。
光...

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