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單項選擇題

光刻加工的工藝過程為：（）

A.①氧化②沉積③曝光④顯影⑤還原⑦清洗
B.①氧化②涂膠③曝光④顯影⑤去膠⑦擴(kuò)散
C.①氧化②涂膠③曝光④顯影⑤去膠⑦還原

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單項選擇題

在進(jìn)行納米級測量非導(dǎo)體的零件表面形貌時，常采用的測量儀器為（）。

A.光學(xué)顯微鏡
B.掃描隧道顯微鏡
C.原子力顯微鏡

單項選擇題

FMS非常適合（）。

A.大批大量生產(chǎn)方式
B.品種單一、中等批量生產(chǎn)方式
C.多品種、變批量生產(chǎn)方式

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