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名詞解釋

LIGA技術(shù)工藝過(guò)程

答案: 深層同步輻射X射線光刻把從同步輻射源放射出的具有短波長(zhǎng)和很高平行度的X射線作為曝光光源可在最大厚度達(dá)500um的光致抗蝕...
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微細(xì)加工工藝方法

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超微機(jī)械加工、光刻加工、體刻蝕加工、面刻蝕加工、LIGA技術(shù)、封接技術(shù)、分子裝配技術(shù)。

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RPM工藝方法

答案:

光敏液相固化法、選區(qū)片層粘結(jié)法、選區(qū)激光燒結(jié)法。

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