A、固體物質 B、氮氣 C、物料 D、可揮發(fā)性物質
A、將被檢測系統(tǒng)與其它系統(tǒng)及大氣斷開 B、啟動真空泵將系統(tǒng)抽到盡可能高的真空 C、對被檢測系統(tǒng)進行氦檢漏并處理泄漏點 D、對被檢測系統(tǒng)進行真空氣密性試驗