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填空題

產(chǎn)品規(guī)格為77*77的晶片，鍍膜一罩可以裝120片，下片時(shí)由于不小心弄碎了1片，那么該罩的碎片率為（）。

答案： 0.8%

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鍍膜膜層厚度監(jiān)控方法有（）和（）兩種。

答案：晶控；光控

多項(xiàng)選擇題

真空度不對會導(dǎo)致以下哪些結(jié)果（）。

A、整罩分光特性超差
B、均勻性不好
C、表面不好
D、膜層牢固度不好

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