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問答題

【簡答題】什么是阻擋層金屬？阻擋層材料的基本特征是什么？哪種金屬常被用作阻擋層金屬？

答案：阻擋層金屬是淀積金屬或金屬塞，作用是阻止層上下的材料互相混合。可接受的阻擋層金屬的基本特征是：
①好的阻擋擴散...

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【簡答題】解釋鋁已經(jīng)被選擇作為微芯片互連金屬的原因。

答案：（1）鋁與P型硅及高濃度N型硅均能形成低歐姆接觸；
（2）電阻率低
（3）與SiO₂

【簡答題】例舉并描述金屬用于硅片制造的7種要求。

答案：金屬用于硅片制造的七個要求：
1.導電率：為維持電性能的完整性，必須具有高電導率，能夠傳導高電流密度。

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