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問答題

【論述題】簡述在熱氧化過程中雜質(zhì)再分布的四種可能情況。

答案: 如果假設(shè)硅中的雜質(zhì)分布是均勻的,而且氧化氣氛中又不含有任何雜質(zhì),則再分布有四種可能。①分凝系數(shù)m<l,且在SiO
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問答題

【論述題】說明影響氧化速率的因素。

答案: 1)氧化劑分壓因為平衡情況下,SiO2中氧化劑的濃度C0=HPg,而拋物型速率常數(shù)B=2D
問答題

【論述題】簡述常規(guī)熱氧化辦法制備SiO2介質(zhì)薄膜的動力學(xué)過程,并說明在什么情況下氧化過程由反應(yīng)控制或擴(kuò)散控制。

答案: 迪爾-格羅夫氧化模型可以很好地預(yù)測氧化層厚度,熱氧化過程主要分為以下三個過程:(1)氧化劑從氣體內(nèi)部以擴(kuò)散形式穿過滯留層...
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