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單項選擇題

如果磷在二氧化硅中擴散，對擴散率影響最大的因素是：（）。

A.擴散劑總量
B.壓強
C.溫度
D.濃度

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單項選擇題

用電容－電壓技術(shù)來測量擴散剖面分布是用了（）的原理。

A.pn結(jié)理論
B.歐姆定律
C.庫侖定律
D.四探針技術(shù)

單項選擇題

在確定擴散率的實驗中，擴散層電阻的測量可以用（）測量。

A.SIMS技術(shù)
B.擴展電阻技術(shù)
C.微分電導(dǎo)率技術(shù)
D.四探針技術(shù)

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