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單項選擇題

早期，研究離子注入技術(shù)是用（）來進(jìn)行的。

A.重離子加速器
B.熱擴(kuò)散爐
C.質(zhì)子分析儀
D.輕離子分析器

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單項選擇題

（）的氣體源中一般包含H⁺，C⁺，B⁺，Cl⁺，O⁺等離子。

A.Cl₂
B.BCl₃
C.CO₂
D.H₂

單項選擇題

離子源產(chǎn)生的離子在（）的加速電場作用下得到加速。

A.分析器
B.掃描器
C.加速器
D.偏轉(zhuǎn)器

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