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多項選擇題

按加熱源的不同，可以分成（）幾種不同類型的蒸發(fā)。

A.真空蒸發(fā)
B.離子束蒸發(fā)
C.電子束蒸發(fā)
D.粒子束蒸發(fā)
E.常壓蒸發(fā)

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單項選擇題

電子束蒸發(fā)的設(shè)備中產(chǎn)生電子束的裝置稱為（）。

A.電子源
B.電子泵
C.電子管
D.電子槍

單項選擇題

用真空蒸發(fā)與濺射法在硅片或二氧化硅膜上涂敷金屬材料，是形成電極的（）。

A.重要步驟
B.次要步驟
C.首要步驟
D.不一定