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單項(xiàng)選擇題

真空鍍膜室內(nèi),在蒸發(fā)源加熱器與襯底加熱器之間裝有活動(dòng)擋板,用來(lái)()。

A.隔擋氣體交換
B.控制蒸發(fā)的過(guò)程
C.輔助熱量交換
D.溫度調(diào)節(jié)

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