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單項(xiàng)選擇題

銅互連金屬多層布線(xiàn)中，磨料的粒徑一般為（）。

A.5~10nm
B.20~30nm
C.50~80nm
D.100~200nm

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單項(xiàng)選擇題

在酸性漿料中，最常使用的氧化劑為（）。

A.硝酸
B.硝酸銅
C.硫酸
D.磺酸

單項(xiàng)選擇題

在新一代的CMP中，有使用（）磨料在金屬表面上形成軟質(zhì)皮膜并加以去除的趨勢(shì)。

A.二氧化錳
B.鋁
C.氧化鉻
D.金剛石

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