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薄膜不能做得很薄,但具有熱容量小,響應(yīng)速度快等特點(diǎn),適于測(cè)量微小面積上的瞬變溫度。
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薄膜熱電偶采用真空蒸鍍方法,將熱電偶材料蒸鍍?cè)诮^緣基板上。
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屏蔽的目的是隔斷場(chǎng)的耦合通道
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