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問答題

【簡答題】影響擴散速率的因素有哪些?

答案:

①晶體內(nèi)雜質(zhì)濃度梯度;
②環(huán)境溫度;
③雜質(zhì)本身結(jié)構(gòu)、性質(zhì);
④晶體襯底的結(jié)構(gòu)。

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問答題

【簡答題】擴散的方式有哪三種?

答案:

①填隙式擴散
②替位式擴散
③填隙-替位式擴散

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