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單項(xiàng)選擇題
注入損傷與注入離子的以下哪個(gè)參數(shù)無(wú)關(guān)?()
A.能量
B.溫度
C.劑量
D.質(zhì)量
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單項(xiàng)選擇題
摻雜后退火時(shí)間一般在()。
A.30~60分鐘
B.10~20分鐘
C.60~90分鐘
D.100~120分鐘
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單項(xiàng)選擇題
當(dāng)許多損傷區(qū)連在一起時(shí)就會(huì)形成連續(xù)的非晶層,開(kāi)始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為()。
A.最低摻雜劑量
B.臨界劑量
C.損傷劑量
D.摻雜劑量
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