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問答題
【簡答題】簡述光刻工藝步驟。
答案：
涂光刻膠，曝光，顯影，腐蝕，去光刻膠。
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問答題
【簡答題】光刻的作用是什么？列舉兩種常用曝光方式。
答案：
光刻是集成電路加工過程中的重要工序，作用是把掩模版上的圖形轉(zhuǎn)換成晶圓上的器件結(jié)構(gòu)。
曝光方式：接觸式和非接觸式。
曝光方式：接觸式和非接觸式。
