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由于線切割面是被機(jī)械沖擊過,因此會(huì)殘留結(jié)晶變形,使電氣特性變壞,因此需用HF+HNO3進(jìn)行腐蝕,使表面()的程度。
答案:
減薄10—20µm
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將得到的多晶硅進(jìn)行溶解,做成單晶硅,其方法有()和浮游帶熔融兩種。
答案:
喬克萊爾斯基
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