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問答題
【簡答題】解釋擴散系數(shù)及其物理含義,并說明影響擴散系數(shù)的主要因素是什么,及如何影響?
答案:
雜質(zhì)的擴散流密度與雜質(zhì)的濃度梯度成正比,將二者之間的比例系數(shù)定義為雜質(zhì)在基體材料中的擴散系數(shù),其單位為cm
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【簡答題】說明雜質(zhì)在晶圓中的擴散機制及主要特點,并各舉一例。
答案:
間隙式雜質(zhì)從一個間隙到另一個間隙的運動是通過原子間的縫隙進行的,這種依靠間隙方式而逐步跳躍前進的擴散稱為間隙式擴散(In...
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問答題
【簡答題】什么是擴散?并說明擴散的兩個基本條件?按材料的形態(tài)劃分,擴散有那幾種基本形式?工藝中的高溫擴散屬于哪一種?
答案:
擴散,是一種材料通過另一種材料的運動。
擴散的兩個必要條件:濃度差,過程所需要的能量。
固態(tài),液態(tài),氣態(tài)擴散。
屬于固態(tài)擴散。
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