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諧振式傳感器是利用改變機(jī)械、電器的固有參數(shù)來(lái)改變諧振的原理制成的。
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電容式傳感器是利用改變電容的幾何尺寸或改變電容介質(zhì)的性質(zhì)和含量,從而改變電容量的原理制成。
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電感式傳感器是利用改變磁路的幾何尺寸、磁體的位置來(lái)改變電感和互感的電感量或壓磁效應(yīng)原理制成。
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