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判斷題

平滑是一種平坦化類型，它只能使臺階角度圓滑和側(cè)壁傾斜，但高度沒有顯著變化。

答案：正確

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化學機械平坦化，簡稱CMP，它是一種表面全局平坦化技術(shù)。

答案：正確

表面起伏的硅片進行平坦化處理，主要采用將低處填平的方法。

答案：錯誤

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