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判斷題

對正性光刻來說，剩余不可溶解的光刻膠是掩膜版圖案的準確復制。

答案：正確

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曝光后烘焙，簡稱后烘，其對傳統(tǒng)I線光刻膠是必需的。

答案：正確

光刻區(qū)使用黃色熒光燈照明的原因是，光刻膠只對特定波長的光線敏感，例如深紫外線和白光，而對黃光不敏感。

答案：正確

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