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問答題
【簡答題】擴散摻雜與離子注入摻雜所形成的雜質(zhì)濃度分布各自的特點是什么？與擴散摻雜相比離子注入摻雜的優(yōu)勢與缺點各是什么？
答案：
擴散雜質(zhì)所形成的濃度分布：雜質(zhì)摻雜主要是由高溫的擴散方式來完成，雜質(zhì)原子通過氣相源或摻雜過的氧化物擴散或淀積到硅晶片的表...
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問答題
【簡答題】簡述兩步擴散的含義與目的？
答案：
為了同時滿足對表面濃度、雜質(zhì)總量以及結深等的要求，實際生產(chǎn)中常采用兩步擴散工藝：第一步稱為預擴散或預淀積，在較低的溫度下...
