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填空題

()是由側(cè)面蝕刻而產(chǎn)生的,它發(fā)生在抗蝕層圖形的下面。

答案: 側(cè)蝕
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蝕刻技術(shù)可分為()和干蝕刻兩類。

答案: 濕蝕刻
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