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填空題

由于電容式傳感器動(dòng)極板移動(dòng)過(guò)程中（），（）以及兩極板間的（）等原因，所以，該傳感器幾乎沒(méi)有零漂

答案：無(wú)摩擦；機(jī)械損耗很小；靜電引力小

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由于電容式傳感器的電容量（），即容抗（），因此，該傳感器具有需要輸入能量（）的優(yōu)點(diǎn)和易受（）、穩(wěn)定性（）的缺點(diǎn)。

答案： ??；高；小；外界干擾；變差

用變介電常數(shù)式電容式傳感器測(cè)量介質(zhì)的（）比測(cè)量其（）的性能要好。

答案：介電常數(shù)變化；介電材料厚度變化