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問答題

【簡答題】簡述離子注入機的各部分工作原理？

答案：離子注入機主要由離子源、分析磁體、加速聚焦器、掃描偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、靶室及終端臺和真空系統(tǒng)6大部分組成。
1）離子源的...

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答案：離子注入是將被摻雜的雜質(zhì)原子或分子進行離子化，經(jīng)磁場選擇和電場加速到一定的能量，形成一定電流密度的離子束流后被直接打進（...

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