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吸雜工藝
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通過機(jī)械化學(xué)處理方法,在硅片的非電活性區(qū)引入缺陷,在熱處理時(shí)一些重金屬雜質(zhì)會(huì)擴(kuò)散并淀積在這些缺陷處,從而減少了這些有害雜...
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