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填空題

變極距型電容式傳感器的靈敏度是指單位距離改變引起的（）。

答案：電容相對變化量

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電容式傳感器根據(jù)其工作原理的不同可分為（）電容式傳感器、（）電容式傳感器和（）電容式傳感器。

答案：變極距型；變面積型；變介質(zhì)型

電渦流傳感器的測量電路主要有（）式和（）式。電渦流傳感器可用于位移測量、（）、（）和（）。

答案：調(diào)頻；調(diào)幅；振幅測量；轉(zhuǎn)速測量；無損探傷

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