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【簡答題】簡述離子束加工為什么達到最微細加工
答案:
離子束可以通過離子光學(xué)系統(tǒng)進行聚焦掃描,共聚焦光斑可達1μm以內(nèi),因而可以精確控制尺寸范圍。離子束轟擊材料是逐層去除原子...
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離子束加工是利用離子束對材料進行成形或表面改性的加工方法。在真空條件下,將由離子源產(chǎn)生的離子經(jīng)過電場加速,獲得具有一定速...
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