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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述離子注入設(shè)備的五個(gè)主要子系統(tǒng)
答案：
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問(wèn)答題
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答案：
優(yōu)點(diǎn)：精確控制雜質(zhì)含量、很好的雜質(zhì)均勻性、對(duì)雜質(zhì)穿透深度有很好的控制、產(chǎn)生單一離子束、低溫工藝、注入的離子能穿過(guò)薄膜、無(wú)...
