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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述隱埋層雜質(zhì)的選擇原則
答案：
①雜質(zhì)固溶度大，以使集電極串聯(lián)電阻降低；
②高溫時(shí)在硅中的擴(kuò)散系數(shù)要小，以減小外延時(shí)隱埋層雜質(zhì)上推到外延層的距...
②高溫時(shí)在硅中的擴(kuò)散系數(shù)要小，以減小外延時(shí)隱埋層雜質(zhì)上推到外延層的距...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】如何計(jì)算killing ratio?
答案：
藉由defect map與yield map的迭圖與公式的運(yùn)算，可算出某種缺陷對(duì)良率的殺傷力。
問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】yield loss analysis的功能為何？
答案：
① 找出對(duì)良率影響最大的工藝步驟。
② 經(jīng)由killing ratio的計(jì)算來(lái)找出對(duì)良率影響最大的缺陷種類。
② 經(jīng)由killing ratio的計(jì)算來(lái)找出對(duì)良率影響最大的缺陷種類。
